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  • 产品特点
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PT-5SM型是双路气体输入,
腔体材质:    石英
供电电源: AC220V
工作电流: 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
射频电源功率: 0-200W可调
射频频率: 20.0MHz(偏移量小于0.2KHz)
频率偏移量: 小于0.2KHz
特性阻抗: 50欧姆,自动匹配
真空度: 1pa-30Pa
气体路数: 双路气体输入
气体流量: 10—160ml/min(可调)
过程控制: PLC人机界面自动与手动方式
清洗时间: 1-99999秒钟可调
功率大小 10%-100%可调
内腔尺寸 直径150mm×270mm PT-5SM 容量5L
外形尺寸: PT-5SM型_600mmx500x480mm
重量: 45Kg
真空泵: 抽速4L/S 
真空室温度: 小于30°C
冷却方式: 强制风冷

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