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草莓下载APP下载清洗机辉光放电原理

作者：草莓下载APP下载清洗机发表时间：2017-06-27 15:53:24浏览量：3799【小中大】

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　　草莓下载APP下载清洗/刻蚀机产生草莓下载APP下载体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成草莓下载APP下载体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的草莓下载APP下载体具有不同的化学性能，如氧气的草莓下载APP下载体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的草莓下载APP下载体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。利用草莓下载APP下载处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。

　　辉光放电时，在放电两极电场的作用下，电子和正离子分别向阳极、阴极运动，并堆积在两极附近形成空间电荷区 。因正离子的漂移速度远小于电子，故正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区大得多，使得整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内。这是辉光放电的显著特征，而且在正常辉光放电时，两极间电压不随电流变化。
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